获1996-2000年度香港求是杰出青年学者奖、国网2005年国家自然科学二等奖（排名第三）、2012年获何梁何利科技进步奖和2015年周光召基金会基础科学奖。

第一步穿孔通常在较大离子束入射角（Theta，浙江比如5度-7度，两个离子枪可以一正一负角度进行配置，也可同为正角度配置）下进行。修整完薄区后还应该利用更低的离子束能量（低于修整能量），电科对样品表面再进行适当的修整，去除前步减薄过程对样品表面造成的损伤。

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然而，技卓相对金属材料而言，陶瓷材料离子减薄难度可能更大。较大尺寸陶瓷增强体减薄速率通常较低于金属基体，国网因此可能出现金属薄区完成而陶瓷增强体仍然较厚情况。

制备过程需要针对材料特点调节离子能量、浙江Ar离子流量、离子束入射角和样品转速等参数，才有可能制备出薄区较大的合格样品。

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